1. Schalten Sie den Computer und den Monitor ein
Eingabe: Benutzername: zygo
Passwort: Keine
Melden Sie sich beim Betriebs system an
2. Schalten Sie die Leistung des Interfero meter-Wirts ein und wärmen Sie das Inter fero meter für 15 bis 20 Minuten auf, damit es stabil funktioniert.
3. Doppelklicken Sie auf das MetroPro-Symbol auf dem Desktop des Computers, um die MetroPro-Mess software aufzurufen.
Schalten Sie den Netzschalter ein und die Kontroll leuchte leuchtet.
1. Klicken Sie mit der linken Maustaste auf das entsprechende Symbol der Mess anwendung, um die Testa wendung zu öffnen.
Zum Beispiel: GPI.app öffnen
2. Konstruieren Sie den optischen Testweg (einschl ießlich des Standards pi egels und der Probe), stellen Sie die Interferenz streifen ein und beziehen Sie sich auf die spezifische Messmethode auf der Rückseite.
Richten Sie den optischen Testweg ein (einschl ießlich Standards piegel und Probe) und passen Sie die Interferenz streifen an. Richten Sie die erforderlichen Mess parameter in der MetroPro-Software ein, siehe das MetroPro-Software handbuch.
3. Klicken Sie auf die Schaltfläche Messen in der Software oder drücken Sie die F1-Taste auf der Tastatur, um die Messung abzuschließen und die Ergebnisse anzuzeigen.
4. Speichern Sie den Testbericht. Klicken Sie mit der linken Maustaste auf das Symbol „ Zygo “, um das Fenster bild zu drucken oder zu speichern.
5. Klicken Sie auf die Schaltfläche Daten speichern in der Software, um die Testdaten zu speichern.
1. Schließen Sie die MetroPro-Software
Klicken Sie auf die Schaltfläche X in der oberen rechten Ecke von Metro Pro. Ein Dialog feld wird angezeigt. Klicken Sie auf JA, um die MetroPro-Software zu schließen.
2. Schalten Sie die Haupteinheit des Inter fero meters
Schalten Sie den Netzschalter der Haupteinheit aus und die Kontroll leuchte erlischt.
3. Schalten Sie den Computer und den Monitor aus.
Installieren Sie das Übertragungs element
Warnung!
Berühren Sie das trans missive Element während der folgenden Schritte nicht mit den Händen. Finger abdrücke können das optische dauerhaft beschädigen
Beschichtung und die Oberfläche der Optik.
1. Entfernen Sie das durchlässige Element aus seiner Schutzhülle, indem Sie die Metall kante des Elements greifen.
2. Richten Sie die beiden Metall laschen am Rand des trans missi ven Elements mit den beiden entsprechenden Schlitzen an der Einstell klammer der Haupteinheit aus.
WARNUNG!
Wenn das System in einer vertikalen Konfiguration installiert ist, lassen Sie das trans missive Element nicht los, bis es verriegelt wurde, indem Sie die folgenden Schritte ausführen.
3. Schnappen Sie das durchlässige Element vorsichtig in die Mainframe-Einstell halterung und halten Sie die Metall kanten des Gruppen elements mit der Hand an Ort und Stelle. Drehen Sie den schwarzen Verriegelung knopf
Drehen Sie den schwarzen Verriegelung knopf im Uhrzeiger sinn, um das Gerät an der Einstell halterung zu befestigen.
HINWEIS: Wenn es Zeit ist, das Gerät aus der Einstell halterung zu entfernen, halten Sie das Gerät von Hand von der Metall kante des Geräts, während Sie den Verriegelung knopf gegen den Uhrzeiger sinn drehen.
Wenn es Zeit ist, das Modul von der Einstell halterung zu entfernen, halten Sie das Modul von Hand vom Metallrahmen des Moduls und lösen Sie die Befestigungs schrauben gegen den Uhrzeiger sinn.
Bevor Sie Messungen mit dem Inter fero meter durchführen können, müssen Sie das trans missive Element mit dem Inter fero meter ausrichten und dann die Messprobe mit dem trans missi ven Element ausrichten.
Richten Sie dann die Mess probe mit dem trans missi ven Element aus. Wie das trans missive Element ausgerichtet wird, wird im Folgenden beschrieben. Die Kalibrierung der Mess probe wird ausführlich in der „ Messung der Oberflächen qualität “beschrieben.
Messung der Oberflächen qualität “und „ Messung der übertragenen Wellenfront qualität“.
1. Bestätigen Sie, dass sich der Lichtsc halter in der ON-Position befindet. (Stellen Sie sicher, dass sich der Licht leitsc halter in der Position ON befindet.)
2. Drücken Sie die ALIGN/VIEW-Taste auf der Fernbedienung. Das kalibrierte Ziel fadenkreuz und ein oder mehrere helle Punkte werden auf dem Monitor angezeigt.
Auf dem Monitor. Der hellste Punkt repräsentiert die Licht reflexion von der äußersten Oberfläche des trans missi ven Elements.
Die zu messende Probe wird mit dem trans missi ven Element kalibriert. Nach der Kalibrierung der Probe geht es bei der Messung lediglich darum, eine Measure-Taste in der MetroPro-Software zu drücken. Unabhängig davon, ob das Inter fero meter vertikal oder horizontal platziert ist, wird allgemein angenommen, dass der Mess hohlraum (oder der Spiegel abstand von Probe zu Standard) so groß wie möglich gemacht werden sollte.
Abstand von der Probe zum Standards piegel) so kurz wie möglich. Dies minimiert die Verzerrung der gemessenen Wellenfront durch Luftstrom.
Montage des Transmission Flat (TF)-Referenz spiegels: Platzieren Sie die beiden Metallstifte auf der Linse in den Schieber am Einstell rahmen des Inter fero meters.
1. Schieben Sie die beiden Metall pIns auf der Linse in die Schlitze an der Einstell halterung des Inter fero meters, halten Sie den Metallrahmen der Linse und drehen Sie die Linse im Uhrzeiger sinn, dann ziehen Sie den Verriegelung knopf an der Seite.
Ziehen Sie dann den Verriegelung knopf an der Seite fest.
2. Richten Sie das Standard objektiv aus: Drücken Sie die ALIGN/VIEW-Taste der Fernbedienung, um den Bildschirm in den ALIGN-Zustand zu schalten, und das Bild des Fadenkreuz filaments erscheint in der Ebene. Stellen Sie die beiden Knöpfe an der Einstell halterung der Interferometer-Haupteinheit ein, bis sich der hellste Lichtpunkt auf dem Bildschirm in der Mitte des Kreuz filaments befindet. 3.
3. Platzieren Sie die zu messende Probe auf dem Mess anpassungs rahmen: Stellen Sie den Neigung knopf des Verstell rahmens so lange ein, bis sich der helle Punkt des gemessenen Teils auf dem Bildschirm ebenfalls in der Mitte des Kreuz haaransatzes befindet. fällt mit dem reflektierten Lichtpunkt der Linse zusammen.
4. Drücken Sie die ALIGN/VIEW-Taste der Fernbedienung erneut, um den Bildschirm auf „ Ansicht “zu schalten, und die Interferenz streifen sollten auf dem Bildschirm erscheinen. Drücken Sie die ZOOM-Taste, um hinein-und heraus zu zoomen, damit das Bild der Oberfläche, die Sie messen möchten, den Bildschirm so weit wie möglich ausfüllt. 5.
5. Platzieren Sie ein Stück Papier oder einen anderen Marker so nah wie möglich an dem zu messenden Teil. Dies bietet eine deutliche Kante zum Fokussieren. Drücken Sie die FOCUS-Taste auf der Fernbedienung, um zu fokussieren, die Bildkante auf Kante zu setzen und zu fokussieren, um sie von Kante zu Kante zu machen.
6. Stellen Sie den Neigung anpassungs knopf des Proben anpassungs regals so ein, dass die Fransen auf Null gesetzt werden (damit die Interferenz streifen minimiert werden).
7. Drücken Sie die MEASURE-Taste auf der Metro Pro oder die F1-Taste auf der Tastatur, um die Messung durch zuführen.
1. Berühren Sie nicht die Haupteinheit oder die Anti-Vibrations-Plattform während der Messung.
2. Um das Risiko eines Stromschlags zu minimieren, muss das Instrument durch die Strom versorgungs ausgabe gut elektrisch geerdet sein.
3, im Inter fero meter handbuch, um über die Laser-Sicherheits anweisungen zu lesen.
4. Bewegen Sie die Haupteinheit nicht. Wenn es notwendig ist, sich zu bewegen, verwenden Sie bitte die beiden speziellen Griffe, die auf der Oberseite des Instruments ausgelegt sind, um
Wenn es notwendig ist, sich zu bewegen, verwenden Sie bitte die beiden speziellen Griffe an der Oberseite des Instruments, um es vorsichtig zu bewegen. und berühren Sie die piezo elektrische Keramik nicht direkt mit Ihren Händen, um sie mit Gewalt zu bewegen.
Die piezo elektrische Keramik ist eine hochpräzise Struktur, die durch die Kraft leicht beschädigt werden kann. Vermeiden Sie daher jederzeit äußere Kraft auf sie. Wie in der Abbildung gezeigt:
Wartung des Gastgebers
Die Haupteinheit ist praktisch wartungsfrei, es ist jedoch sehr wichtig, das Instrument in einer relativ sauberen Umgebung zu betreiben.
Es ist jedoch sehr wichtig, das Instrument in einer relativ sauberen Umgebung zu betreiben. Wenn Sie das Gehäuse der Haupteinheit reinigen müssen, folgen Sie den folgenden Schritten.
1. Wischen Sie mit einem Möbel reiniger mit mäßigem pH-Wert Finger abdrücke und Staub von den Seiten und der Frontplatte der Haupteinheit mit einem weichen Tuch ab, das mit einer kleinen Menge Reiniger angefeuchtet ist.
Panel, wie Finger abdrücke und Staub.
2. Verwenden Sie ein trockenes Tuch, um Staub von den Komponenten zu reinigen. Verwenden Sie keine Reinigungs mittel oder Sprays in der Nähe der Optik.
Die Linse ist eine beschichtete Optik und Reinigungs sprays können die Oberfläche beschädigen. Für den Abschnitt über die Reinigung des Linsensystems, siehe
Abschnitt „ Reinigung der Optik “im folgenden Kapitel.
Informationen zur Wartung von Komponenten wie Computer, Farb monitor, Maus, Tastatur und Drucker (falls installiert) finden Sie in der Dokumentation des Herstellers.
Zu den zu warnenden Komponenten gehören der Computer, der Farb monitor, die Maus, die Tastatur und der Drucker (falls installiert).
Wenn Sie Probleme haben und das Problem nicht finden können, wenden Sie sich an Zygo.
Wenn das Inter fero meter nach Abschluss einer Messung längere Zeit nicht verwendet wird, entfernen Sie vorsichtig die Linse und andere Optiken und lagern Sie sie in einem speziellen Linsen gehäuse.
Speichern Sie sie im speziellen Linsen fall.
Die Reinigung jeglicher Präzisions optik kann die Oberfläche beschädigen. Alle reinigungs baren Linsen oberflächen sind beschichtet.
Alle reinigungs baren Linsen oberflächen sind beschichtet. Unnötige und falsche Reinigung kann die Beschichtung leicht beschädigen. Wir sollten unsere Optik richtig halten und sie bei Nicht gebrauch aus dem Weg halten.
Komponenten korrekt, geben Sie sie in ihre Kunststoff gehäuse zurück, wenn sie nicht verwendet werden, und sorgen Sie für eine saubere Umgebung, um die Anzahl der Reinigungs zyklen zu minimieren.
Die Anzahl der Reinigungen sollte minimiert werden.
Versuchen Sie nicht, die Optik im Hauptbereich zu reinigenEinheit, da dies die System leistung beeinflusst. Kontaktieren Sie Zygo, wenn nötig.
Kontaktieren Sie Zygo, wenn nötig.
Labor handschuhe aus Polyethylen
Tragen Sie Handschuhe, um eine Kontamination der Geräte oberflächen zu verhindern und Ihre Haut vor Kontakt mit schädlichen und reizenden chemischen Substanzen zu schützen.
Substanzen.
Komprimiertes Gas mit Düse
Komprimiertes Gas mit einer Düse wird verwendet, um Staub und Schmutz von der Oberfläche der Optik wegzu blasen.
Spiegel papier
Wird verwendet, um die Oberfläche der Optik bei Bedarf zu reinigen. Spiegel papier sollte für das Abwischen von Präzisions optiken spezial isiert werden.
Wattes täbchen
Wattes täbchen sollten aus Holz und Papier, Baumwolle und anderen Materialien hergestellt werden, um schwer zugängliche Oberflächen zu reinigen. Kunststoffs täbe lösen sich in Aceton auf
Kunststoffs täbe lösen sich in Aceton auf.
Lösungsmittel
Verwenden Sie Isopropyl alkohol und Methanol in Spektral qualität, um Verunreinigungen zu reinigen, die an optischen Oberflächen haften. Verwenden Sie eine neutrale 1% ige Seifen lösung oder einen optischen Reiniger.
Konzentration seifen lösung oder optischer Reiniger zur Reinigung von Verunreinigungen auf Öl basis.
Warnung!
Bei der Verwendung von Isopropyl ethanol und Methanol ist Vorsicht geboten. Sie sind brennbar und giftig. Verwenden Sie keine Reinigungs tücher wieder. Wieder verwendung kann dazu führen, dass Schmutz anhaftet und die Optik beschädigt wird.
Entfernen Sie vor dem Reinigen der Optik Schmuck wie Ringe von Fingern und Handgelenken, waschen Sie Ihre Hände sorgfältig, um Hautöle zu entfernen, und tragen Sie Handschuhe.
Staub-oder Fein kontamination
1. Lösen Sie lose, kleine Staubs tücke oder Verunreinigungen mit der Düse ab.
2. Wenn noch Staub vorhanden ist, wickeln Sie zwei Blatt Spiegel papier um einen Holz tupfer oder falten Sie ein Blatt Spiegel papier so, dass es nur breiter als das zu reinigende Teil ist.
3. Legen Sie einen Tropfen Ethanol oder Methanol auf das Papier.
4. Wischen Sie das Objektiv einmal in einer Richtung ab. Wenn mehr Wischen erforderlich ist, verwenden Sie einen neuen Holz tupfer und Spiegel papier. Finger abdrücke, Öl-und Wasser marken HINWEIS: Dieser Zustand muss sofort von der Oberfläche gereinigt werden. Säuren auf der Haut können die Linsen oberfläche beschädigen.
5. Klein loser Staub oder Schmutz mit einer Sprüh düse abblasen.
6. Wenn noch Schmutz vorhanden ist, wickeln Sie zwei Blatt Spiegel papier um einen Holzstab oder falten Sie ein Blatt Spiegel papier so, dass es nur breiter als das zu reinigende Teil ist.
7. Tragen Sie einen Tropfen 1% ige Seifen lösung auf das Papier auf.
8. Wischen Sie die Linse einmal in einer Richtung ab. Wenn mehr Wischen erforderlich ist, verwenden Sie einen neuen Tupfer und Papier.
9. Wiederholen Sie die Schritte 2 bis 4 mit dem mit destilliertem Wasser angefeuchteten Papier. Um alle Seifen reste abzu wischen.
10. Befeuchten Sie das Papier mit Methanol oder Ethanol und wiederholen Sie die Schritte 2 bis 4.
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